近期，晶盛機(jī)電發(fā)布公告，公司董事會審議通過了調(diào)整部分募投項目資金用途的議案。原“12英寸集成電路大硅片設(shè)備測試實(shí)驗(yàn)線項目”的投資額由5.64億元調(diào)減至1.78億元，同時將已終止的“年產(chǎn)80臺套半導(dǎo)體材料拋光及減薄設(shè)備生產(chǎn)制造項目”所剩余資金，連同本次調(diào)減的資金合計約8.61億元（含利息及理財收益），投向兩個新建項目。其中，與碳化硅相關(guān)的零部件產(chǎn)業(yè)化項目成為亮點(diǎn)。

圖片來源：晶盛機(jī)電公告截圖

1、聚焦碳化硅：年產(chǎn)2萬余套關(guān)鍵零部件

新設(shè)的“高端半導(dǎo)體設(shè)備碳化硅零部件產(chǎn)業(yè)化項目”預(yù)計總投資2.06億元，由全資子公司浙江晶誠新材料有限公司實(shí)施。項目建設(shè)期為2年，地點(diǎn)位于浙江省紹興市上虞區(qū)杭州灣上虞經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，利用現(xiàn)有約1.4萬平方米的自有廠房進(jìn)行改造。

該項目將購置CNC機(jī)加工設(shè)備、燒結(jié)爐、氧化爐、CVD爐以及配套清洗烘干設(shè)備、三坐標(biāo)檢測設(shè)備等先進(jìn)生產(chǎn)及檢測裝備，形成年產(chǎn)碳化硅外延爐石墨腔體及配套耗材、硅外延爐石墨基座、碳化硅氧化爐專用爐管、刻蝕設(shè)備專用刻蝕環(huán)等產(chǎn)品共計20,350套/件的產(chǎn)能。項目達(dá)產(chǎn)后，預(yù)計每年可新增銷售收入2.47億元。

這一布局直接瞄準(zhǔn)高端半導(dǎo)體設(shè)備中對碳化硅核心零部件的需求，尤其是在碳化硅外延、氧化、刻蝕等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)，相關(guān)零部件的國產(chǎn)化配套能力將得到增強(qiáng)。

2、同步推進(jìn)：半導(dǎo)體裝備精密零部件智能化項目

另一個新項目為“半導(dǎo)體裝備精密零部件智能化生產(chǎn)項目”，預(yù)計總投資6.68億元，由公司及全資子公司浙江晶鴻精密機(jī)械制造有限公司共同實(shí)施。項目擬新購置74.2畝土地，建設(shè)生產(chǎn)車間及輔助用房，并改造利用現(xiàn)有車間，形成年產(chǎn)1,410套半導(dǎo)體裝備精密零部件的產(chǎn)能，涵蓋框架類、腔體類、結(jié)構(gòu)件類及超精密類零件。該項目建設(shè)期同為2年，達(dá)產(chǎn)后預(yù)計年增銷售收入4.91億元。

3、調(diào)減原項目原因：國產(chǎn)化降本，技術(shù)自主

公告顯示，原“12英寸集成電路大硅片設(shè)備測試實(shí)驗(yàn)線項目”主要用于建設(shè)涵蓋長晶、滾磨、切片、研磨、減薄、拋光等工序的設(shè)備測試線。截至2025年底，已投入約0.86億元用于潔凈室裝修及設(shè)備采購。

此次調(diào)減投資額，主要得益于國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的快速成熟。一方面，晶盛機(jī)電自身在8-12英寸半導(dǎo)體大硅片設(shè)備領(lǐng)域已實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代，長晶、滾磨、減薄、拋光等工序設(shè)備均獲國內(nèi)頭部客戶批量采購，性能達(dá)國際先進(jìn)水平。公司自產(chǎn)設(shè)備按成本價結(jié)轉(zhuǎn)，較原規(guī)劃時的市場價大幅降低。另一方面，國產(chǎn)檢測設(shè)備性能持續(xù)提升，可替代部分進(jìn)口設(shè)備，進(jìn)一步節(jié)約了設(shè)備采購成本。在保證項目測試能力、研發(fā)轉(zhuǎn)化和人才培養(yǎng)目標(biāo)不變的前提下，公司審慎調(diào)減了投資額度。

（集邦化合物半導(dǎo)體整理）

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