近日，德國半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)AIXTRON（愛思強(qiáng)）官方宣布，已向全球知名半導(dǎo)體制造商瑞薩電子交付多套Planetary G5+C型MOCVD系統(tǒng)，用于擴(kuò)充瑞薩氮化鎵（GaN）功率器件的大規(guī)模量產(chǎn)（HVM）產(chǎn)能，設(shè)備已全部交付并投入滿負(fù)荷運(yùn)行。

瑞薩電子總部位于日本東京，2010年由瑞薩科技與NEC電子合并成立，是全球領(lǐng)先的嵌入式半導(dǎo)體解決方案供應(yīng)商。核心業(yè)務(wù)覆蓋汽車電子、工業(yè)控制、基礎(chǔ)設(shè)施及物聯(lián)網(wǎng)，為全球第三大汽車半導(dǎo)體公司及最大微控制器（MCU）供應(yīng)商，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于汽車動力總成、自動駕駛、工業(yè)自動化及電源管理等領(lǐng)域。

愛思強(qiáng)1983年創(chuàng)立于德國亞琛，總部位于黑措根拉特，是全球化合物半導(dǎo)體沉積設(shè)備的頭部企業(yè)。專注研發(fā)、生產(chǎn)金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）設(shè)備，為 GaN、SiC、LED、激光器等提供核心制程裝備，客戶遍及全球，在氮化鎵MOCVD設(shè)備市場占據(jù)重要地位。

此次合作是瑞薩自2024年6月完成對GaN企業(yè)Transphorm收購后，加速GaN產(chǎn)能建設(shè)的關(guān)鍵舉措，核心瞄準(zhǔn)電動車、快充基建、AI數(shù)據(jù)中心電源及工業(yè)電源等領(lǐng)域?qū)Ω咝Чβ势骷谋l(fā)式需求。

MOCVD（金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積）是制備高質(zhì)量GaN外延層的核心工藝，直接決定芯片性能與量產(chǎn)良率。愛思強(qiáng)Planetary G5+C系統(tǒng)為行業(yè)主流量產(chǎn)機(jī)型，具備高通量、高均勻性優(yōu)勢，適配6-8英寸晶圓量產(chǎn)，可滿足瑞薩從6英寸向8英寸產(chǎn)線升級的技術(shù)需求，支撐其第二個(gè)GaN晶圓廠建設(shè)規(guī)劃（預(yù)計(jì)2027年投產(chǎn)）。

瑞薩電子功率產(chǎn)品集團(tuán)GaN業(yè)務(wù)副總裁Rohan Samsi表示，GaN是公司增長最快的業(yè)務(wù)板塊，此次引入愛思強(qiáng)設(shè)備，將快速放大基于Transphorm技術(shù)的量產(chǎn)能力，鞏固在中高壓GaN市場的領(lǐng)先地位。愛思強(qiáng)GaN產(chǎn)品管理總監(jiān)Dr. Nicolas Müsgens則指出，該合作印證了行業(yè)對GaN大規(guī)模制造的信心，雙方將深化技術(shù)協(xié)同，助力瑞薩搶占第三代半導(dǎo)體市場先機(jī)。

（集邦化合物半導(dǎo)體整理）

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