近日,華東理科大學上海市智能感知與檢測技術(shù)重點實驗室智能傳感團隊在氮化鎵晶圓檢測研究中取得重要進展。
圖片來源:華東理科大學
團隊利用開發(fā)的二維有機薄膜憶阻器實現(xiàn)了有圖案晶圓的缺陷檢測和無圖案晶圓的表面粗糙度分類。
相關(guān)研究成果以“Covalent organic framew...  [詳內(nèi)文]
華東理科大學氮化鎵晶圓檢測研究新進展 |
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作者
KikiWang
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發(fā)布日期:
2025 年 06 月 11 日 17:11
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關(guān)鍵字:
氮化鎵
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