深圳特區(qū)報近日報道，深圳市納設智能裝備股份有限公司（以下簡稱“納設智能”）在碳化硅裝備技術上取得了突破。

當前碳化硅憑借優(yōu)異性能在新能源汽車、智能電網(wǎng)等下游領域展現(xiàn)出巨大應用潛力，然而應用于碳化硅材料生產核心環(huán)節(jié)的外延設備其國產化之路卻面臨諸多阻礙，高溫沉積均勻性設備穩(wěn)定性等核心技術長期受制于人。

面對困境，納設智能創(chuàng)始人陳炳安帶領團隊自主研發(fā)可獨立控制的多區(qū)進氣系統(tǒng)，顯著提升了設備工藝的均勻性，并通過與深圳先進院成立聯(lián)合實驗室成功將碳化硅外延設備工藝良率提升至98%。

針對進口碳化硅外延設備耗材成本高、維護復雜的痛點，納設智能推出創(chuàng)新的反應腔室設計，使耗材成本降低30%，同時大幅降低維護難度。

數(shù)年間，陳炳安帶領團隊攻克技術壁壘成功研發(fā)5款化學氣相沉積設備，填補了國內先進材料產業(yè)鏈上游關鍵設備的空白。

目前，納設智能的碳化硅外延設備已實現(xiàn)全面產業(yè)化。在光伏鈣鈦礦領域，納設智能也正全力推進大尺寸設備研發(fā)，預計年內實現(xiàn)產品上市。

（集邦化合物半導體整理）

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